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基于压电效应的激光测振仪校准理论方法研究杭州爱华仪器设备有限公司

[导读]杭州爱华设备有限公司引用在动态测试与校准领域,激光测振技术已经成为动态测试与校准的重要手段,其性能直接影响测量结果,因此对激光测振仪的校准技术研究显得尤为重要。

杭州爱华设备有限公司引用在动态测试与校准领域,激光测振技术已经成为动态测试与校准的重要手段,其性能直接影响测量结果,因此对激光测振仪的校准技术研究显得尤为重要。本文提出了一种基于压电效应的激光測振仪的校准方法,设计以压电梁为敏感元件的测试系统,通过理论分析,建立了压电梁的动力学有限元模型,使用 ANSYS软件,施加不同的载荷约束,模拟激光测振仪的振动测量环境,仿真结果显示,压电梁的输出响应快、延迟小,无论是直流偏置还是交流激励,激励信号与仿真压电梁输出的位移信号的相对误差都小于1%,实现压电梁对测量光直接进行烦率调制,能够对激光测振仪的动态性能进行标定,并校准效率和适用范围,杭州爱华仪器设备有限公司为激光测振仪校准技术的进一步研究提供了方法。激光測振仪校准过程中,根据调制位与激光測振仪的关系,通常可以分为内调制(调频电信号)和外调制(调频光信号)种:前者,不易调整日调制速率有限,带宽较小;后者,调制方式多、容易调整H调制速率高,带宽较宽外调制作为一种新的校准方法,理论上可以覆荒激光测振仪的作频率,并能够对系统进行整体校准,但山于各日存在着难点,且该方法的校准精度尚需进一步的探索研究目前还处于广泛的理论研究中。电振动器在一些特殊MEMS执行器可以在选定的频段产生振动,但只能在非常低的位移振幅下产生振动,对于这些限制,有学者提出了各种解决方案,包帮各种机械放大机构,如杠杆机构、平而四杆机构、三角位移放大杭构”21。总之,只要有足够的振动器和可靠的参考激光振动计,就可以在任何频率对激光測振仪进行高效校准。杭州爱华仪器设备有限公司引用木文设计的用于激光測振仪的双光東干涉校准系统,包含激励源、光路系统、待测溦光測振仪、驱动电源、信号发生装置以及数据采集系统,。山标准激光源发出的线偏振光,经过光隔离器1,到达第一偏振分東器PB1,垂直于水平面振动的光分量被反射到第一转折陵镜DP1,形成参考光東,而平行于水平面振动的光分量透过第一偏振分東器PB1,经过透镜后被聚焦,穿过ん/4波片,人射到悬臂梁B表面,形成探测光束。



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